在微電子生產(chǎn)過(guò)程中，等離子清洗技術(shù)已經(jīng)開(kāi)始成為一種不可或缺的工藝過(guò)程。而等離子清洗設(shè)備，業(yè)內(nèi)更常見(jiàn)的名稱為“等離子清洗機(jī)”，也開(kāi)始為人所熟知。等離子清洗區(qū)別于傳統(tǒng)清洗(如機(jī)械清洗、水洗與溶劑清洗)之處在于，傳統(tǒng)的清洗方式在清洗完成后，通常在表面仍然存在幾納米至幾十納米厚度的殘留。而隨著精密加工工藝的要求越來(lái)越嚴(yán)苛，這些殘留往往會(huì)對(duì)工藝過(guò)程與產(chǎn)品可靠性產(chǎn)生不良的影響。

什么是等離子處理以及等離子處理可以做什么?

　　等離子處理用于清潔和活化表面以改善其粘附特性。等離子清洗可去除表面上的痕量有機(jī)污染物，否則會(huì)妨礙良好的附著力。同時(shí)，等離子處理活化表面，將其從低表面能狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)楦弑砻婺軤顟B(tài)，使其易于被粘合劑、油漆、膠水等潤(rùn)濕。等離子處理解決了許多行業(yè)中附著力差的問(wèn)題。如果你想要了解熟悉plasma等離子清洗機(jī)有什么作用我建議大家閱讀下這篇文章《熟悉plasma等離子清洗機(jī)有什么作用?》

　　材料表面的污染物的主要來(lái)源一般有兩種，通過(guò)物理化學(xué)方式吸附在表面的外來(lái)分子與表面自然氧化層：

材料表面的污染物

物理吸附的外來(lái)分子一般可以通過(guò)加熱的方式使之解吸附，而化學(xué)吸附的外來(lái)分子則需要比較高能化學(xué)反應(yīng)過(guò)程才能將之解吸附脫離材料表面;

表面自然氧化層一般生成在金屬表面，會(huì)對(duì)金屬的可焊性以及與其它材料的結(jié)合性能產(chǎn)生影響。

脫模劑、添加劑、軟化劑(增塑劑)和碳?xì)浠衔锏陌踩?、超?xì)清潔

　　微細(xì)等離子清潔甚至可以去除塑料中最小的灰塵顆粒，這些灰塵最初由于添加劑而牢固地粘附在表面上。等離子體使粒子從基板上完全分離。有價(jià)值的油漆或涂料(例如汽車或移動(dòng)通信行業(yè))的廢品率大大降低。通過(guò)使用納米范圍內(nèi)的化學(xué)-物理反應(yīng)，可以獲得高質(zhì)量、精確定義的表面。

使用等離子清洗的優(yōu)勢(shì)：

　　1、100% 清潔

　　2、無(wú)稀釋效應(yīng)(與水清洗相比)

　　3、無(wú)需額外的耗材(與 CO2 束清潔相比)

　　4、清潔完整的材料結(jié)構(gòu)表面形貌，而不僅僅是峰(與噴砂相比)

　　5、無(wú)需額外空間——生產(chǎn)線內(nèi)聯(lián)集成

　　6、經(jīng)濟(jì)和生態(tài)高效的表面預(yù)處理

等離子清洗

　　等離子清洗是一種經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的、有效的、經(jīng)濟(jì)的和對(duì)環(huán)境安全的關(guān)鍵表面處理方法。與傳統(tǒng)的濕法清潔方法(包括溶劑清潔殘留物本身)相比，等離子清潔可消除納米級(jí)的天然和技術(shù)油脂，并將污染減少多達(dá) 6 倍。等離子清洗產(chǎn)生原始表面，可用于粘合或進(jìn)一步加工，沒(méi)有任何有害廢料。

等離子清洗的工作原理

　　等離子體中產(chǎn)生的紫外線在破壞表面污染物的大多數(shù)有機(jī)鍵方面非常有效。這有助于分解油和油脂。通過(guò)等離子體中產(chǎn)生的高能氧物質(zhì)進(jìn)行第二次清潔動(dòng)作。這些物質(zhì)與有機(jī)污染物反應(yīng)主要形成水和二氧化碳，在處理過(guò)程中不斷地從腔室中去除(抽走)。

　　如果待等離子清洗的部件由容易氧化的材料(如銀或銅)組成，則使用惰性氣體(如氬氣或氦氣)代替。等離子體激活的原子和離子的行為就像分子噴砂，可以分解有機(jī)污染物。這些污染物在處理過(guò)程中再次蒸發(fā)并從腔室中排出。關(guān)于大氣等離子清洗的原理和作用這塊內(nèi)容我建議大家閱讀下這篇文章《大氣等離子清洗機(jī)引入氧氣的原理和作用是怎樣的？》

等離子清洗技術(shù)可以有效處理以上兩種類型的表面污染物，而處理過(guò)程首要需要選擇合適的處理氣體。在等離子清洗過(guò)程中，最常用的工藝氣體為氧氣與氬氣。

氧氣在等離子環(huán)境中可以電離產(chǎn)生大量含氧的極性基團(tuán)，可以有效去除材料表面的有機(jī)污染物，并將極性基團(tuán)吸附在材料表面，有效提升材料的結(jié)合性–微電子封裝工藝中，塑封前的等離子處理是此類處理的典型應(yīng)用。經(jīng)過(guò)等離子處理的表面具有更高的表面能，可以有效與塑封料結(jié)合，減少塑封工藝中分成、針孔等現(xiàn)象的產(chǎn)生。

氬氣在等離子環(huán)境中可以生成氬離子，并利用材料表面生成的自偏壓對(duì)材料進(jìn)行濺射，消除表面吸附的外來(lái)分子并可以有效去除表面金屬氧化物–在微電子過(guò)程中，打線前的等離子處理為此種工藝的典型代表。經(jīng)過(guò)等離子處理的焊盤表面由于去除了外來(lái)污染物與金屬氧化層，可以提升后續(xù)打線工藝的良率與焊線的推拉力性能。

等離子清洗適用于：

　　1、金屬表面的超精細(xì)清潔

　　2、塑料和彈性體的表面處理

　　3、眼科和一般玻璃產(chǎn)品的表面處理和清潔

　　4、陶瓷

　　5、去除表面的氧化

關(guān)于等離子清洗應(yīng)用這塊內(nèi)容我建議大家閱讀下這篇文章《【技術(shù)】等離子清洗技術(shù)在引線框架封裝中有哪些應(yīng)用》。

　　在等離子清洗工藝過(guò)程中，除工藝氣體的選擇，等離子電源、電極結(jié)構(gòu)、反應(yīng)壓力等多種因素均會(huì)對(duì)處理效果產(chǎn)生不同的影響。在之后的介紹中，我們將結(jié)合實(shí)例向大家介紹等離子在各個(gè)行業(yè)中的應(yīng)用實(shí)例。

　　使用大氣等離子進(jìn)行干式等離子清洗可以立即繼續(xù)處理材料。該應(yīng)用程序允許清潔且具有成本效益的整體表面預(yù)處理過(guò)程。由于等離子體的高能級(jí)，它可以選擇性地破壞材料表面的化學(xué)或有機(jī)物質(zhì)結(jié)構(gòu)。使用超精細(xì)清潔，甚至可以從敏感表面上完全去除不需要的物質(zhì)。這為以后的涂層提供了最佳的先決條件。