低溫等離子體（Plasma）應(yīng)用已經(jīng)是一個(gè)具有全球影響的重要的科學(xué)與工程，對(duì)高科技經(jīng)濟(jì)的發(fā)展及傳統(tǒng)工業(yè)的改造有著巨大的影響。三分之一微電子器件設(shè)備采用等離子體技術(shù)，高分子材料百分之九十都要經(jīng)過(guò)低溫等離子體清洗和等離子體表面處理。并且清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法，經(jīng)等離子清洗之后的產(chǎn)品是干燥的，已經(jīng)不需要再經(jīng)干燥處理就可以直接進(jìn)行下一道工序。不僅提高整個(gè)工藝流水線的處理效率，還使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免二次處理?yè)p傷到產(chǎn)品。
 

等離子清洗機(jī)作用：

（1）表面清洗

        材料表面嘗嘗會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在粘合、焊接前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷燈多種材料。

（2）表面刻蝕

        金屬氧化物會(huì)與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，這種處理要采用氫氣或者氬氣混合物。有時(shí)也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面5min，第二步用氫氣和氬氣混合物去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體進(jìn)行處理。在等離子刻蝕過(guò)程中，通過(guò)處理氣體的作用，被刻蝕物會(huì)變成氣化物（例如在使用氟氣對(duì)硅刻蝕時(shí)）。處理對(duì)氣體和基體氣化物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。無(wú)需刻蝕部分應(yīng)使用相應(yīng)材料覆蓋起來(lái)（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料。）

（3）表面接枝與聚合

        在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團(tuán)或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時(shí)，采用等離子體接枝的方法來(lái)改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán)，利用此基團(tuán)與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價(jià)鍵結(jié)合，后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿足應(yīng)用的特定基團(tuán)，以達(dá)到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。

（4）表面活化

        塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）等一樣是沒(méi)有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。在惰性材料表面生成活性基團(tuán)，增強(qiáng)表面極性，提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比，不會(huì)損害樣品，同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣，盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。
 

等離子清洗設(shè)備的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對(duì)玻璃、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。

等離子清洗應(yīng)用領(lǐng)域包括：

手機(jī)觸摸屏、平板電腦玻璃蓋板清洗活化
半導(dǎo)體集成電路及微電子產(chǎn)業(yè)
 LCD液晶/LED封裝,PCB線路板制造
 汽車制造、橡膠塑料產(chǎn)業(yè)
 生物醫(yī)療材料表面改性修飾
 精密儀器、機(jī)械及電氣制造 
 聚合物薄膜、紡織纖維改性處理

        設(shè)備范圍涵蓋半導(dǎo)體硅片、LCD行業(yè)、手機(jī)制造，電器制造行業(yè)、汽車制造、生物醫(yī)學(xué)、光伏光電、新能源、PCB&FPCB和國(guó)防工業(yè)的航空航天電連接器等行業(yè)的表面清洗?？梢哉f(shuō)只要是跟表面處理相關(guān)的它都可以處理，可見(jiàn)等離子清洗機(jī)設(shè)備的市場(chǎng)是廣泛的。